描述
NIKON 4S008-036 — 尼康（Nikon）工业测量系统 激光位移传感器/高度计探头
技术规格：
| 参数项 | 详细规格 |
|---|---|
| 系列归属 | Nikon LK-G系列 / LC系列工业测量 |
| 测量原理 | 激光三角测量法（非接触） |
| 测量范围 | 0.5mm ~ 50mm（视具体子型号） |
| 分辨率 | 0.05μm（50nm） |
| 精度 | ±0.1μm（典型值） |
| 重复精度 | ±0.02μm |
| 采样频率 | 最高192kHz |
| 激光波长 | 655nm（红色可见光，Class 1安全等级） |
| 光斑直径 | 约0.2mm（最小）~2mm（可调） |
| 输出信号 | 模拟量（±5V/±10V）、RS-232、EtherCAT |
| 供电电压 | 24V DC |
| 防护等级 | IP67（探头头部） |
| 工作温度 | 0°C ~ 45°C |
| 目标材质 | 金属、塑料、玻璃、陶瓷、半导体等 |
| 产地 | 日本 |
| 颜色 | 银色金属外壳 |
功能特点：
- 纳米级精度：分辨率达0.05μm，满足半导体和精密制造的严苛要求
- 超高采样频率：192kHz采样，可测量高速运动物体（如产线上移动的板材）
- 非接触测量：激光三角测量，不接触被测物，不损伤表面
- 多种输出：支持模拟量、RS-232、EtherCAT等多种通讯方式
- 自动增益控制（AGC）：根据被测物反射率自动调整激光功率，适应不同材质
- IP67防护：探头头部完全防水防尘，适用于恶劣工业环境
- 紧凑设计：探头头部直径仅约22mm，可安装在狭窄空间
应用场景：
- 半导体晶圆：晶圆厚度测量、翘曲度检测
- PCB制造：PCB板厚度在线检测
- 锂电池：极片厚度测量、涂布厚度监控
- 金属加工：板材厚度在线检测、轧辊间隙测量
- 玻璃制造：玻璃面板厚度和平整度检测
- 汽车零部件：齿轮齿厚、轴承外径测量
性能参数：
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 线性度 | ±0.1%FS |
| 温度漂移 | <0.05%FS/°C |
| 响应时间 | <50μs |
| 激光安全等级 | Class 1（直视安全） |
| MTBF | >50,000小时 |
| 重量 | 约200g（探头头部） |
材质构成：
- 外壳：不锈钢SUS304，阳极氧化处理
- 光学镜片：镀膜玻璃镜片，抗刮擦
- 激光二极管：红色655nm半导体激光器
- 传感器：高灵敏度CMOS线阵传感器
- 电缆：屏蔽电缆，IP67防水接头
- 连接器：M8或M12航空插头
结构特征：
- 探头头部直径约22mm，长度约60mm
- 侧面出光口，45°角入射
- 顶部M8电缆接头
- 铝合金安装支架（可选）
- 整体重量约200g
工作原理：
激光二极管发射655nm红色激光束，以45°角照射被测物表面，反射光经光学镜头聚焦到CMOS线阵传感器上。被测物高度变化时，反射光在传感器上的位置发生移动，通过三角几何关系计算出精确位移量。CMOS传感器以192kHz频率读取光点位置，经内部DSP处理后输出测量值。
安装要求：
- 探头安装需使用专用支架，确保测量角度为45°
- 测量距离（探头到被测物）需在标定范围内（通常50~100mm）
- 避免强光直射探头镜头
- 电缆弯曲半径>50mm
- 安装位置需远离振动源
使用注意事项：
- 虽为Class 1安全等级，仍不可直视激光出光口
- 被测物表面需有一定反射率（>5%），黑色吸光材料需使用喷雾增白
- 定期清洁镜头，使用专用镜头纸
- 固件升级通过Nikon专用软件操作
- 避免在粉尘浓度极高的环境中使用（会散射激光）
