描述
ZYGO 7702 — Zygo 激光干涉测量系统
技术规格：
- 激光类型：双频稳频 He-Ne 激光器，波长 632.8nm，碘稳频
- 位移测量分辨率：0.1nm（100 皮米）
- 位移测量范围：0 至 60 米（使用角锥反射镜时）
- 线性测量精度：±0.05ppm + 0.1nm
- 角度测量精度：±0.002 角秒
- 测量速度：最高 4 米/秒（连续），最高 10 米/秒（脉冲）
- 采样率：最高 100kHz
- 环境补偿：内置温度、气压、湿度传感器，自动 Edlén 公式补偿
- 激光输出功率：约 1.5mW（Class 2）
- 偏振：线偏振，消光比大于 500:1
- 接口：RS-232、GPIB、USB 2.0、以太网
- 工作温度：18°C 至 28°C（推荐，产线环境要求更严格）
- 供电：100VAC 至 240VAC，50/60Hz，功耗约 60W
- 尺寸：约 400mm × 300mm × 200mm（含光学附件）
- 重量：约 12kg
- MTBF：大于 20,000 小时（激光器）
功能特点：
- 100 皮米级分辨率，产线级精度
- 双频激光设计，低速无信号丢失
- 内置完整环境传感器，自动补偿
- 支持线性、角度、平面度、平行度、垂直度、步距六种测量模式
- 实时数据输出，支持与 CNC 系统直接通信
- 内置自动分度功能，产线测量效率极高
- 支持绝对测量和增量测量
- 前面板 4 个 LED：电源（绿）、测量（绿闪）、报警（红）、通信（黄）
材质构成：
- 激光管：密封硼硅酸盐玻璃管，He-Ne 混合气体
- 光学元件：Zerodur 零膨胀玻璃基底，多层介质膜（反射率大于 99.9%）
- 干涉仪本体：不锈钢 + 殷钢混合结构
- 探测器：硅 PIN 光电二极管阵列
- 外壳：阳极氧化铝合金（6061-T6），内部填充减震泡棉
- 线缆：低热膨胀系数同轴电缆
结构特征：
- 主机为箱式结构，前面板设有激光输出口、接收口、环境传感器接口、RS-232/GPIB/USB/以太网接口和 4 个 LED
- 顶部设有不锈钢提手
- 底部设有三个可调脚垫（M8 螺纹）
- 激光输出口配有可旋转光学调整架（俯仰 ±5°，偏航 ±5°）
- 内部光学系统密封，防尘等级 IP54
工作原理：
与 Agilent 5517B 相同，双频激光干涉原理。He-Ne 激光器发出两个正交偏振模式（频率差约 1.5MHz），经分束镜分为参考光束和测量光束。测量光束照射到运动目标上的角锥反射镜后返回，与参考光束产生双频干涉信号。目标每移动半个波长（316.4nm），干涉条纹变化一个周期。通过计数条纹数和分数条纹插值算法，计算出 0.1nm 级位移。环境传感器实时修正空气折射率对光程的影响。
安装要求：
- 安装在光学平台或专用隔振支架上，振动 amplitude 小于 50nm
- 激光光路中不可有遮挡物
- 环境温度波动小于 0.1°C/小时（产线环境要求更严格）
- 供电需使用稳压电源，电压波动小于 ±0.5%
使用注意事项：
- 激光为 Class 2，禁止使用光学仪器直视激光束
- 光学元件表面禁止触摸，清洁用专用无尘布和异丙醇
- 角锥反射镜不可跌落
- 长期不用时需每月开机 2 小时
- 产线环境需控制温度和振动
应用场景：
- 半导体光刻机工作台校准（产线在线测量）
- 超精密 CNC 机床线性轴校准（产线终检）
- 三坐标测量机（CMM）精度验证
- 精密光学平台位移测量（产线 QC）
