描述
Zygo 4205 — Verifire Asphere 非球面激光干涉仪（高精度型）
技术规格：
- 激光波长：632.8nm（He-Ne 稳频激光）
- 测量精度：λ/50 RMS（高精度型）
- 适用非球面类型：凸非球面、凹非球面、离轴非球面
- 口径范围：Ø10mm 至 Ø150mm（可选）
- 非球面偏离量：最大可测 100μm 矢高偏离
- 重复性：λ/100（2σ）
- 补偿镜：CGH（计算机生成全息图）或 Null Lens（零位透镜），可更换
- 接口：GigE Vision + USB 3.0
- 软件：Verifire Asphere Software（专用非球面分析软件）
- 工作温度：18°C 至 25°C（恒温要求严格）
- 尺寸：约 500mm × 400mm × 400mm
- 重量：约 30kg（含补偿镜组）
功能特点：
- 专为非球面设计，可测高阶非球面（含 4 次方、6 次方、8 次方甚至更高阶项）
- 自动识别非球面类型（凸/凹/离轴），自动匹配补偿镜
- 支持全口径面形图 + 局部放大面形图
- 可输出 ISO 10110 标准面形公差报告
- 支持批量检测模式，适合产线质量控制
- 内置环境传感器，自动修正温度、气压、湿度对测量结果的影响
材质构成：
- 主机外壳：铸铝合金 + 不锈钢内衬
- 光学平台：Zerodur 玻璃陶瓷，超低热膨胀
- 补偿镜：CGH 为全息光栅（镀于 fused silica 基底上）或 Null Lens（精密磨制玻璃透镜）
- 激光器：He-Ne 稳频激光，线宽小于 1.5MHz
- 探测器：高分辨率 CCD，2048 × 2048 像素
结构特征：
- 主机为立式结构，顶部为测量头，测量头可旋转以适应不同口径的非球面
- 补偿镜组安装在可旋转的转盘上，支持快速更换
- 前面板设有 10 英寸触摸屏
- 底部设有精密气浮轴承工作台和三个调平脚杯
工作原理：
非球面元件的波前与球面波前不同，直接干涉会产生密集无法解析的条纹。4205 通过在光路中插入与被测非球面匹配的补偿镜（CGH 或 Null Lens），将非球面波前转换为近似球面波前，然后与参考球面镜干涉。软件从干涉条纹中解算出面形误差，并与设计面形进行对比，输出偏差图。
安装要求：
- 光学隔振台必需，振动幅值需小于 0.1μm
- 温度控制精度 ±0.1°C
- 补偿镜存放需使用专用防震箱，避免 hologram 损坏
- 电源需隔离接地，接地电阻小于 1Ω
使用注意事项：
- CGH 补偿镜为一次性精密元件，不可触摸表面，需用气吹清洁
- 测量不同非球面时必须更换对应的补偿镜，不可混用
- 激光器预热 30 分钟后再开始测量
- 每年需送 Zygo 官方校准
应用场景：
- 手机摄像头非球面塑料镜片检测
- 汽车激光大灯非球面透镜检测
- VR/AR 眼镜非球面镜片检测
- 精密模具非球面型面检测
- 激光聚焦非球面镜检测
