描述
Zygo 4104C — Zygo GPI Laser Fizeau 激光干涉仪（标准精度型）
技术规格：
- 激光波长：632.8nm（He-Ne 稳频激光）
- 测量精度：λ/20 RMS（标准型），可选 λ/50 高精度版本
- 测量范围：Ø50mm 至 Ø300mm（可选口径）
- 重复性：λ/100（2σ）
- 空间分辨率：0.5mm（采样间距）
- 参考面：内置高精度参考球面镜（λ/50 面形精度）
- 接口：USB 2.0 + GigE Vision（可选）
- 软件：MetroPro（Windows 平台）
- 工作温度：18°C 至 25°C（要求恒温环境）
- 尺寸：约 600mm × 400mm × 350mm（主机）
- 重量：约 25kg
功能特点：
- 非接触式测量，不会损伤被测光学元件
- 测量速度快，单次测量时间小于 10 秒
- 自动对焦和自动孔径识别
- 支持 Zernike 多项式拟合，可分解面形误差为各阶像差
- 内置环境补偿传感器（温度、气压、湿度），自动修正折射率
- 支持 CV（曲率半径）、PV（峰谷值）、RMS 等多种面形参数输出
材质构成：
- 主机外壳：铸铝合金，表面阳极氧化处理
- 光学平台：超低膨胀系数玻璃陶瓷（Zerodur），热稳定性极高
- 激光器：He-Ne 气体激光器，内置稳频电路
- 参考镜：熔融石英基底 + 离子束溅射（IBS）介质膜高反膜
- 探测器：CCD 相机，1280 × 1024 像素
结构特征：
- 主机为立式结构，顶部为光学测量头，底部为电子控制箱
- 测量头设有被测件安装台（气浮轴承，无摩擦）
- 前面板设有触摸屏和操作按键
- 底部设有三个可调脚杯，用于精密调平
工作原理：
He-Ne 激光器发出的 632.8nm 激光经分束镜分为两路：一路照射被测光学元件表面并反射回来，另一路照射内置参考球面镜并反射回来。两束光在 CCD 探测器上发生干涉，形成干涉条纹。通过相移算法（通常 4 步或 5 步相移），软件从干涉条纹中精确解算出被测面与参考面之间的光程差分布，即面形误差图。
安装要求：
- 必须安装在光学隔振台上，隔绝地面振动
- 环境温度需控制在 20°C ± 0.5°C，湿度 40% 至 60%
- 主机周围 1 米内不可有强气流（空调出风口需避开）
- 电源需使用稳压电源，电压波动小于 ±1%
使用注意事项：
- 激光为 Class 2，虽人眼安全但仍需避免长时间直视
- 被测光学元件表面需清洁，不可有灰尘或指纹
- 测量前需预热激光器至少 30 分钟以达到频率稳定
- 每年需送 Zygo 官方校准一次参考镜
应用场景：
- 光学透镜面形检测（照相镜头、投影镜头、激光聚焦镜）
- 反射镜面形检测（天文望远镜主镜、激光谐振腔镜）
- 平行平板平行度检测
- 光学元件出厂质量控制
- 科研院所光学实验室
