描述
KOKUSAI KOMS-A2
技术规格 适配 Kokusai 湿法晶圆处理设备主机；多路数字量输入输出通道；模拟量采集通道；板载微处理器；通信接口适配设备内部专用总线；供电 DC24V；插件式板卡安装；洁净车间环境适配设计；通道具备过压、过流保护。
功能特点 多路独立数字输入通道采集洁净室设备的安全门、液位开关、压力开关、限位传感器信号；数字输出通道驱动电磁阀、接触器、指示灯，执行工艺时序动作；模拟量通道采集温度、压力、流量变送器信号，完成信号调理与 AD 转换；内置工艺联锁逻辑，触发急停、安全门打开等安全信号时，立即切断工艺介质输出，保护晶圆与设备；板载硬件看门狗，处理器异常时自动复位并输出故障报警；实时采集设备运行状态、故障代码，通过内部专用总线上传设备上位控制器；非易失性存储器保存设备参数、故障事件记录；板卡通道独立硬件保护，单通道短路不会造成整块板卡损坏；硬件滤波电路消除洁净车间内部电机、泵体产生的电磁干扰。
应用场景 8 英寸、12 英寸半导体晶圆湿法清洗设备；晶圆去胶、湿法刻蚀处理机；半导体化学药液处理设备；晶圆表面处理、薄膜剥离设备；半导体 Fab 洁净车间工艺设备。
性能参数 工作环境温度 18℃至 35℃；存储温度 – 20℃至 70℃；相对湿度 30%~80% 无凝露；绝缘耐压 1000VAC；EMC 电磁兼容满足半导体洁净车间设备标准；抗振动、抗冲击满足半导体设备规范。
材质构成 PCB 基板多层玻纤环氧树脂覆铜板；连接器镀金铜合金触点；接线端子黄铜镀金防腐处理；板上处理器、AD 采样芯片选用高可靠工业元器件；PCB 表面喷涂三防涂层，抵抗洁净车间微量化学气体腐蚀；前面板为 UL94 V0 阻燃工程塑料。
结构特征 设备内部插槽式板卡结构，适配 Kokusai 设备主机插槽；前面板布置状态 LED 指示灯；后端板对板连接器对接设备背板总线；电路板内部模拟采集回路、数字逻辑回路、功率输出回路物理分区，降低电磁串扰；板卡使用螺丝锁紧固定在设备机架内部。
工作原理 设备各类传感器、开关信号接入 KOMS-A2 板卡通道，信号经过硬件滤波、电平转换送入板载处理器。处理器按照预设的晶圆工艺时序，执行逻辑判断，输出开关量信号驱动电磁阀、泵体等执行元件。板卡持续监测安全联锁信号，一旦检测到安全门开启、急停触发，硬件回路直接切断工艺介质输出。板卡将设备状态、报警代码通过内部专用总线上传至上位主机，接收上位下发的工艺启停指令。
安装要求 板卡安装在半导体设备主机内部插槽，拆装作业前关闭设备总电源，等待内部电容放电完成。板卡对准插槽平稳推入，锁紧固定螺丝，确认板对板连接器完全接触。传感器信号线选用屏蔽线缆，屏蔽层单点接地，与动力线缆分开布线。安装完成后，上电执行通道自检，校验全部传感器与执行器回路，加载设备工艺参数。半导体洁净车间内拆装板卡必须遵守无尘操作规范，佩戴无尘手套。
使用注意事项 半导体设备内部存在化学药液管路与高压回路，拆装操作必须断电；禁止带电插拔板卡；洁净车间内板卡不可直接用手触碰 PCB 与金手指；更换板卡后，重新加载设备参数，执行全流程工艺测试；定期清理板卡表面粉尘，保持洁净；不可在有化学腐蚀气体环境长期存放备件。
