描述
Schumacher ATCS-15 1464-0320
技术规格 供电支持 24VDC 或 120VAC，50/60Hz；搭载高精度温度采集回路；支持热电阻、热电偶温度传感器接入；具备模拟量输出、继电器告警输出；通讯接口包含 RS232、RS485、以太网；工作温度 – 20℃至 60℃；防护等级 IP20。
功能特点 采集工艺回路温度传感器信号，通过 PID 算法调节加热、制冷执行元件，稳定维持设定工艺温度。实时监测温度偏差，超温、低温、传感器断线时触发告警输出。支持本地面板参数设定，也可通过总线由设备上位机远程设定温度、PID 参数。内置故障日志，存储超温、传感器故障记录。支持多组工艺温度配方存储，可一键切换。
应用场景 半导体晶圆湿法清洗设备、薄膜沉积工艺温控单元、实验室精密流体恒温装置、光学元件镀膜设备温控系统。
性能参数 温度控制精度高；PID 调节响应平稳；传感器断线识别迅速；配方参数断电保持；长期工艺运行温度漂移小。
材质构成 主控电路板 FR-4 阻燃多层板；功率驱动回路使用固态继电器；散热器为铝合金型材；机壳喷涂冷轧钢板；操作面板为耐磨损塑料；接线端子镀金信号触点。
结构特征 独立柜装整机结构；前面板配置温度显示屏、按键、状态指示灯；内部弱电控制区与功率驱动区物理分隔；背部布置供电端子、传感器端子、通讯接口、告警输出端子；自带散热风道与温控风扇。
工作原理 温度传感器实时采集被控介质温度信号送入控制器，主控芯片对比实测温度与设定温度，经过 PID 运算输出调节信号，控制加热或制冷单元功率，缩小温度偏差。内部回路持续监测传感器信号，信号异常、温度超出阈值时切断功率输出并触发告警。
安装要求 垂直安装在半导体设备机柜内部；接入额定供电电源；温度传感器线缆接入信号端子；通讯线缆连接设备主控 PLC；设定工艺温度与保护阈值；空载与带载分别测试温度稳定性能；保证散热风道无遮挡。
使用注意事项 功率回路和传感器弱电线缆分开布线；散热滤网定期清理粉尘；传感器做好绝缘防护；更换传感器后重新做温度标定；设备断电后等待功率元件充分降温再开盖检修。
