LAM 685-247270-001 — LAM Research（拉姆研究）Kiyo系列刻蚀机台用射频电源
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LAM 685-247270-001 — LAM Research（拉姆研究）Kiyo系列刻蚀机台用射频电源

产品简介：

LAM 685-247270-001 是LAM Research生产的Kiyo系列刻蚀设备专用射频电源，与685-247270-101的主要区别在于：该型号为单频CW（连续波）模式，不支持双频和脉冲模式。后缀”001″表示单频CW基本配置。该电源为Kiyo刻蚀机台的标准射频配置，适用于只需要单一频率连续波射频的刻蚀工艺。

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描述

LAM 685-247270-001 — LAM Research（拉姆研究）Kiyo系列刻蚀机台用射频电源

技术规格：

参数项 详细规格
品牌 LAM Research（KLA集团）
系列 Kiyo刻蚀系统
型号 685-247270-001
工作频率 13.56MHz（单频）
最大输出功率 2000W（连续）
输出阻抗 50Ω
VSWR <1.5:1
调制方式 CW（连续波）
冷却方式 风冷
供电电压 200~240V AC，三相
尺寸 约482 × 432 × 222mm
重量 约20~25kg
产地 美国

功能特点：

  • 单频CW模式：仅输出13.56MHz连续波射频，结构比双频版本简单，可靠性更高
  • 2000W功率：与101版本相同
  • 成本更低：无双频和脉冲功能，制造成本低于101版本
  • 适用于标准刻蚀工艺：大多数刻蚀工艺只需单频CW即可满足

应用场景：

  • LAM Kiyo系列刻蚀机台（标准配置）
  • 半导体介质刻蚀、硅刻蚀等标准工艺

性能参数：

参数 数值
工作频率 13.56MHz
最大功率 2000W
VSWR <1.5:1
MTBF >50,000小时

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