描述
AMAT 1080-01772
技术规格：
- 产品系列： Baratron®
- 测量范围： 0-100 托（Torr）
- 精度： 0.05%
- 长期稳定性： 0.01%/年
- 重复性： 0.02%
- 响应时间： <1 毫秒
- 输出信号： 0-5V
- 供电电压： 24V DC
功能特点：
- 电容式压力测量技术： 采用先进的电容式传感器设计，能够在高真空环境下提供极高的稳定性和精确度
- 超高精度： 精度达到 0.05%，满足最严苛的精密测量需求
- 卓越的长期稳定性： 年漂移率仅 0.01%/年，确保长期测量的可靠性和一致性
- 优异的重复性： 重复性达到 0.02%，保证多次测量结果的高度一致
- 快速响应： 响应时间小于 1 毫秒，能够实时捕捉压力变化
- 标准电压输出： 0-5V 模拟电压输出，便于与各种控制系统和数据采集设备集成
应用场景：
- 半导体制造： 适用于蚀刻、沉积、离子注入等精密工艺中的真空压力监测
- 薄膜沉积： 可用于 PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）工艺
- 真空镀膜： 应用于光学镀膜、金属镀膜等行业
- 气体分析： 适用于色谱、质谱和红外光谱等精密仪器
- 科研实验： 物理、化学、材料科学等领域的实验室真空测量
性能参数：
- 测量范围： 0-100 托
- 精度： 0.05%
- 长期稳定性： 0.01%/年
- 重复性： 0.02%
- 响应时间： <1 毫秒
- 输出信号： 0-5V
- 供电电压： 24V DC
材质构成：
- 电容式传感器核心组件
- 高真空兼容密封材料
- 精密电子电路组件
- 工业级外壳材料
- 高质量连接器和接线端子
结构特征：
- 紧凑的传感器主体设计
- 真空法兰接口
- 电气连接端口
- 密封防护外壳
- 散热设计
- 清晰的信号输出标识
工作原理：
MKS 979B-01-0013 真空压力传感器采用电容式压力测量技术。传感器内部有一个可变形的金属膜片作为电容器的一个极板，当真空腔体内的压力发生变化时，膜片会产生微小的形变，导致电容值发生变化。传感器内部的电子电路检测这种电容变化，并将其转换为与压力成比例的 0-5V 模拟电压信号输出。由于电容式测量不依赖于气体种类，因此该传感器能够准确测量各种气体在真空环境下的压力。
MKS 979B-01-0013 真空压力传感器采用电容式压力测量技术。传感器内部有一个可变形的金属膜片作为电容器的一个极板，当真空腔体内的压力发生变化时，膜片会产生微小的形变，导致电容值发生变化。传感器内部的电子电路检测这种电容变化，并将其转换为与压力成比例的 0-5V 模拟电压信号输出。由于电容式测量不依赖于气体种类，因此该传感器能够准确测量各种气体在真空环境下的压力。
安装要求：
- 安装在真空系统的适当位置，确保传感器与真空腔体良好连接
- 使用合适的真空法兰和密封件，确保真空密封性
- 连接 24V DC 供电电源
- 连接 0-5V 模拟信号输出线到数据采集或控制系统
- 确保传感器周围环境清洁，避免污染
- 遵循 MKS 官方安装指南
使用注意事项：
- 安装前确认传感器测量范围与应用需求匹配
- 确保真空连接处的密封性，避免泄漏
- 供电电压必须为稳定的 24V DC
- 避免传感器受到机械冲击和振动
- 定期校准以确保测量精度
- 保持传感器清洁，避免污染物进入真空接口
- 在极端温度环境下使用时注意温度对测量的影响
- 记录安装和校准信息以便后续维护参考
