描述
PFEIFFER EVR116
技术规格
- 接口法兰：DN16 ISO-KF
- 控制信号：DC0~10V 模拟给定
- 供电：DC24V
- 开启时间：4s；关闭时间：3s
- 可控流量范围：5×10⁻⁶ ~1.25×10³ hPa・l/s
- 阀体材质：不锈钢
- 密封件：氟塑料密封套筒
- 烘烤温度：阀体最高 80℃，执行器最高 60℃
- 工作环境温度：5℃～40℃
- 安装方式：法兰直接安装在真空管路
- 推荐配套控制器：RVC300、IF200
功能特点
- 电机驱动阀芯，连续比例调节，不是开关阀，实现压力连续闭环控制
- 内置位置传感器，实时反馈阀芯开度，形成阀位闭环
- 大调节比，极小流量到大流量均可稳定控制
- 不锈钢阀体，适配大多数无腐蚀性工艺气体
- 氟塑料密封套筒，低出气率，适配高真空环境
- 阀位故障诊断，检测电机堵转、位置传感器故障
- 可搭配 Pfeiffer 真空控制器组成压力闭环系统，自动维持腔体内真空度
- 阀结构低泄漏，满足高真空工艺泄漏指标
应用场景
- 半导体设备真空腔体压力调节
- 真空镀膜、溅射工艺气体流量控制
- 质谱仪、表面分析仪器真空系统
- 实验室高真空测试设备
- 真空热处理、等离子工艺真空压力调节
材质构成
- 阀体：316L 不锈钢
- 阀芯套筒：氟塑料（FKM 类）
- 驱动单元外壳：铝合金
- 驱动电机：微型直流电机，内置位置电位器
- 密封件：氟橡胶密封圈
- 法兰：不锈钢 ISO-KF 法兰
结构特征
- 一体化结构，上部电机驱动执行单元，下部不锈钢阀体与 KF 法兰
- DN16 ISO-KF 标准快拆法兰，快速拆装接入真空管路
- 内部氟塑料可滑动套筒作为节流元件，套筒移动改变流通截面积
- 内置阀位位置传感器，实时反馈阀开度
- 执行器外壳密封，保护内部电机与位置传感器，工艺气体不进入电机腔
工作原理 DC24V 为阀门供电，外部真空控制器输出 0~10V 给定信号，对应 0~100% 阀开度。内置电机驱动传动机构，带动氟塑料节流套筒移动，改变阀口流通面积，同时位置传感器实时采集阀位，反馈至控制回路，将实际开度稳定在给定值。通过改变阀口流通能力，调节气体进出腔体流量，维持真空腔体压力稳定。
安装要求
- 使用 DN16 ISO-KF 标准真空法兰，法兰密封垫安装到位，均匀紧固卡箍
- 阀门安装方向可水平或垂直，避免颗粒杂质直接冲击阀内套筒
- 控制线缆使用屏蔽双绞线，屏蔽单点接地
- 工艺管路无颗粒粉尘，防止固体颗粒卡滞阀套筒
- 环境温度维持 5℃～40℃，执行器不可超过 60℃烘烤温度
- 配套 RVC300 控制器完成真空压力闭环组态
使用注意事项
- 不可用于含颗粒、粉尘、腐蚀性气体工况，会造成套筒磨损卡滞
- 烘烤时严格控制温度，执行器温度不可超过 60℃
- 拆装法兰时保护密封面，划痕会造成真空泄漏
- 禁止机械外力敲击阀体，会损坏内部位置传感器
- 长期停机前，清洁管路，防止沉积物卡滞阀芯
- 备件存放于洁净干燥环境
