描述
MKS 220DD-00100A2B — MKS Instruments（英福康）Baratron型绝对电容式压力传感器
技术规格：
| 参数项 | 详细规格 |
|---|---|
| 品牌 | MKS Instruments（英福康Inficon） |
| 系列 | Baratron 220DD系列 |
| 型号 | 220DD-00100A2B |
| 传感器类型 | 绝对电容式（Capacitance Manometer） |
| 测量范围 | 0~100Torr（0~133.3mbar / 0~0.131atm） |
| 测量模式 | 绝对压力 / 差压（双传感器） |
| 输出信号 | 0~10V DC（模拟电压，比例于压力） |
| 精度 | ±0.2%满量程（±0.2Torr） |
| 重复性 | ±0.05%满量程（±0.05Torr） |
| 线性度 | ±0.1%满量程 |
| 响应时间 | <5ms（90%阶跃响应） |
| 工作温度 | -10°C ~ +50°C |
| 过程连接 | 1/4NPT内螺纹（不锈钢） |
| 供电电压 | 12~30V DC |
| 功耗 | <1W（典型值） |
| 过载能力 | 10倍满量程（1000Torr）不损坏 |
| 输出阻抗 | <100Ω |
| 防护等级 | IP50（电气接口） |
| 认证 | CE、RoHS |
| 产地 | 美国 |
| 重量 | 约200g |
功能特点：
- 双传感器结构（DD）：内置两个独立电容传感隔膜，可同时测量两路压力（差压或双点绝对压力），一台传感器实现两路测量
- 绝对电容式测量：无需参考真空，直接测量绝对压力，不受大气压变化影响，精度远超皮拉尼真空计
- 0~100Torr量程：覆盖粗真空到中真空范围（100Torr≈133mbar），适合半导体CVD/PVD、真空包装、分析仪器等
- 0~10V DC模拟输出：标准工业电压信号，可直接接入PLC/DCS/记录仪，无需额外信号调理
- 高精度±0.2%FS：满量程100Torr时误差仅±0.2Torr，远优于热偶真空计（±5%FS）和皮拉尼计（±10%FS）
- 快速响应<5ms：电容式薄膜响应速度极快，适合动态压力监测和过程控制
- 10倍过载保护：可承受1000Torr瞬时过压不损坏，安装时不怕意外超压
- 无气体依赖性：电容式测量原理与气体种类无关，测氮气、氩气、空气精度一致
应用场景：
- 半导体CVD/PVD设备真空腔体压力监测
- 真空镀膜机（溅射、蒸发）过程控制
- 质谱仪/分析仪真空系统压力监测
- 真空包装机压力控制
- 科研实验真空系统（分子泵前级、干泵出口）
- 半导体刻蚀机腔体压力控制
- LED/OLED制造设备真空监测
性能参数：
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 量程 | 0~100Torr |
| 精度 | ±0.2%FS（±0.2Torr） |
| 重复性 | ±0.05%FS |
| 响应时间 | <5ms |
| 输出 | 0~10V DC |
| 供电 | 12~30V DC |
| 过载 | 1000Torr（10倍） |
| 工作温度 | -10°C~+50°C |
| MTBF | >100,000小时 |
材质构成：
- 传感器头部：316L不锈钢，电解抛光，表面粗糙度Ra<0.4μm
- 传感隔膜： Inconel 718镍基高温合金薄膜，厚度约25μm，表面镀金
- 电极：镀金陶瓷电极
- 过程接口：316L不锈钢，1/4NPT内螺纹
- 密封件：氟橡胶（FKM/Viton）O型圈
- 电气连接器：DB9 9针D-Sub连接器（母头），铜合金镀镍
- 内部电路：陶瓷基板（Al2O3），薄膜电阻，ASIC芯片
- 外壳：铝合金阳极氧化（黑色）
结构特征：
- 传感器头部直径约50mm，长度约80mm（含接口）
- 前端为1/4NPT内螺纹接口
- 后端为DB9 9针D-Sub连接器，9芯定义：Vcc、GND、Output1、Output2、NC、NC、NC、NC、NC
- 整体重量约200g
工作原理：
被测真空压力作用在Inconel 718传感隔膜上，隔膜变形导致隔膜与固定电极之间的电容值变化。内部ASIC芯片将电容变化转换为数字信号，再经D/A转换为0~10V DC模拟电压输出。0Torr时输出0V，100Torr时输出10V，线性度±0.1%。双传感器结构中，两个隔膜独立工作，可分别输出两路电压信号（差压或双点绝对压力）。
安装要求：
- 使用1/4NPT外螺纹接头连接，扭矩1.5~2.0N·m
- DB9连接器插入配套仪表或PLC的对应接口
- 供电线：Vcc接12~30V DC正极，GND接负极
- 输出线：Output1/Output2接入记录仪或PLC模拟量输入
- 安装位置需避开振动源和强电磁干扰
- 接地线连接至机柜接地排
使用注意事项：
- 不可超过1000Torr过载压力，否则会永久损坏隔膜
- 被测气体需清洁干燥，含颗粒或腐蚀性气体会损坏隔膜
- 长期不用时需保持真空状态存放（隔膜两侧压差为零）
- 校准周期为每年一次（用标准真空计校准）
- DB9连接器不可带电插拔
