描述
AMAT 0190-37519 — 应用材料公司（Applied Materials）Endura刻蚀系统用射频传输线缆组件
技术规格：
| 参数项 | 详细规格 |
|---|---|
| 品牌 | Applied Materials（AMAT） |
| 系列 | Endura刻蚀系统 |
| 型号 | 0190-37519 |
| 部件名称 | RF Cable Assembly（射频传输线缆组件） |
| 工作频率 | 13.56MHz（ISM频段） |
| 电缆类型 | RG-213/U同轴电缆（50Ω，低损耗） |
| 电缆长度 | 3米（标准，可定制1米/5米/10米） |
| 连接器类型 | N型公头 — N型母头（或N型母头—N型母头，视配置） |
| 连接器材质 | 黄铜镀镍（主体）+ 不锈钢（螺纹） |
| 插入损耗 | <0.2dB @ 13.56MHz（3米） |
| 回波损耗 | >20dB @ 13.56MHz |
| VSWR | <1.15:1 |
| 额定功率 | 3000W（连续，取决于电缆长度） |
| 弯曲半径 | 最小150mm（不可小于此值，否则会损坏内部介质） |
| 工作温度 | -40°C ~ +85°C（电缆本体） |
| 防护等级 | IP65（连接器部分），IP54（电缆部分） |
| 屏蔽效能 | >90dB @ 13.56MHz |
| 认证 | CE、UL、RoHS |
| 产地 | 美国 |
功能特点：
- 超低插入损耗：3米长度插入损耗<mailto:0.2dB@13.56MHz，射频能量几乎无损失传输
- 高回波损耗：>20dB，反射极小，确保射频功率高效传输
- N型连接器：工业标准N型（50Ω），镀镍处理，耐腐蚀、耐磨损，适合高频振动环境
- RG-213/U电缆：采用实心聚乙烯介质+铜管外导体，低损耗、高功率容量（3000W）
- 屏蔽效能>90dB：双层屏蔽（编织层+铝箔），有效防止电磁泄漏和外部干扰
- 耐温范围宽：-40°C~+85°C，适合各种工业环境
- AMAT原厂品质：与AMAT射频系统完美匹配，确保整体系统性能最优
应用场景：
- AMAT Endura系列刻蚀机台射频系统内部连接
- 射频发生器 → 匹配器之间的连接
- 匹配器 → 刻蚀腔体之间的连接
- 任何需要13.56MHz、3000W射频传输的场合
性能参数：
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 工作频率 | 13.56MHz |
| 电缆长度 | 3米 |
| 插入损耗 | <0.2dB |
| 回波损耗 | >20dB |
| VSWR | <1.15:1 |
| 额定功率 | 3000W |
| 弯曲半径 | ≥150mm |
| 屏蔽效能 | >90dB |
材质构成：
- 外导体：铜管（无缝铜管，壁厚0.8mm），镀银处理
- 内导体：实心铜棒（直径约9mm），镀银处理
- 介质：实心聚乙烯（PE），低损耗因子
- 第一层屏蔽：铜编织网（覆盖率>95%）
- 第二层屏蔽：铝箔+聚酯薄膜复合屏蔽
- 外护套：硅橡胶（耐温85°C），黑色
- 连接器：黄铜镀镍（主体），不锈钢（螺纹），PTFE绝缘（内导体）
- 紧固件：不锈钢卡箍（用于连接器与电缆的压接固定）
结构特征：
- 线缆总长度约3米（含两端连接器各约50mm）
- 两端为N型连接器（公头/母头），螺纹长度约12mm
- 电缆外径约15mm，黑色硅橡胶护套
- 连接器与电缆之间采用不锈钢卡箍压接固定，外加热缩管保护
- 整体重量约1.2kg
工作原理：
线缆本身为无源传输介质，不对信号进行处理。射频信号从一端N型连接器输入，通过同轴电缆的内导体和外导体之间的电磁场传输到另一端N型连接器输出。由于采用低损耗RG-213/U电缆和高质量N型连接器，3米长度的插入损耗仅<0.2dB，回波损耗>20dB，确保射频功率高效传输。
安装要求：
- N型连接器对准对应接口，顺时针旋转拧紧，力矩1.5~2.0N·m
- 电缆弯曲半径不可小于150mm，弯曲处需使用专用弯曲保护套
- 电缆沿机架敷设，使用耐高温扎带固定，间距≤300mm
- 连接器不可接触被测面或金属屑，避免短路
- 接地线通过连接器外壳自然接地（N型连接器外壳与机架接触即接地）
使用注意事项：
- 弯曲半径不可小于150mm，否则会改变特性阻抗导致VSWR升高
- N型连接器不可过度拧紧（>2.5N·m），否则会损坏螺纹
- 电缆不可与动力电缆（380V/220V）平行敷设，间距>200mm
- 定期检查连接器有无松动、腐蚀
- 存放时连接器需套上防尘帽，电缆盘绕在专用支架上（弯曲半径>200mm）
- 硅橡胶护套不可接触有机溶剂（会溶胀）
