描述
Advanced Energy APEX3013 3156114-746
技术规格 额定输出射频功率 3000W；固定射频输出频率；支持模拟量、数字总线指令控制功率输出；内置功率、反射功率监测回路；供电输入为三相交流电；具备反射功率保护、过温保护、过流保护；工作环境温度 0℃至 40℃；防护等级 IP20。
功能特点 按照上位机设定值稳定输出射频功率，驱动等离子体负载。实时监测正向输出功率与负载反射功率，反射功率超标自动降功率或停机保护。支持模拟信号、工业总线两种方式接收功率设定指令。内置故障记录，存储过温、过功率、驻波异常事件。配套匹配网络接口，适配真空腔体等离子体负载。
应用场景 半导体晶圆刻蚀设备、PVD/CVD 真空镀膜设备、光学涂层生产线、等离子表面处理设备。
性能参数 功率输出稳定度高；响应速度快；驻波保护阈值可调；功率监测精度高；连续长时间工艺运行稳定性强。
材质构成 功率主板采用高载流 FR-4 基板；射频功率器件为大功率晶体管；主散热器为铝合金；机壳为喷涂钢板；射频输出接口为高功率同轴射频接头；控制端子为镀金信号端子。
结构特征 柜装立式整机结构；前面板配置功率显示、状态指示灯；内部功率区与弱电控制区物理分隔；底部大功率散热风道，配置温控风扇；背部布置三相供电端子、射频输出同轴口、控制信号端子。
工作原理 三相交流电进入电源内部整流逆变电路，产生高频射频信号，功率放大后从射频输出端输送到真空腔体匹配器。内部采样回路采集正向功率和反射功率，对比设定值闭环调节输出幅度。当负载不匹配造成反射功率过高、内部超温时，控制回路切断射频输出并记录故障。
安装要求 垂直安装在设备机柜内部；接入匹配容量的三相交流供电；射频同轴电缆连接电源输出端与匹配网络；控制信号线连接设备控制器；设置保护阈值；空载和带载分别测试功率输出稳定性；保证散热风道无遮挡。
使用注意事项 射频输出端断电后仍存在高压，静置充分放电后再开盖；射频同轴接头保持清洁，避免污染；散热滤网定期清理；负载匹配异常禁止强制起辉；设备外壳可靠保护接地。
