描述
WASCO UHP169-31L2B-X1601
技术规格 介质接触材质全 316L 不锈钢；最大系统压力 30inHg；设定点范围 1.6~29.5inHg；设定点公差 ±1.2inHg；氦检泄漏率≤1×10⁻⁹ std cc/sec；无 O 圈、无弹性密封件；制造环境 100 级洁净室；满足 SEMI F1 标准；SPDT 单刀双掷接点输出；工作温度 – 20℃至 80℃。
功能特点 全焊接一体结构，不存在密封圈老化泄漏风险；超高纯度湿部表面处理，不污染高纯工艺气体；氦气严格检漏，极低泄漏率；压力设定点出厂标定，精度稳定；开关接点动作可靠，迟滞区间稳定；抗腐蚀性强，兼容各类半导体高纯特种气体；洁净包装，开箱可直接用于高纯管路安装。
应用场景 半导体晶圆制造气体分配箱；臭氧工艺管路压力监测；超高纯特种气体输送系统；实验室高纯气体管路；精密医疗高纯气体设备。
性能参数 压力触发点长期漂移极小；全焊接结构耐受高纯腐蚀性介质；开关接点动作重复性高；极低泄漏，不会造成工艺气体泄漏污染晶圆制程。
材质构成 介质接触部分为 316L 不锈钢；外壳不锈钢；内部传感膜片一体化焊接；接线壳体阻燃塑料；开关触点为贵金属合金。
结构特征 一体式全焊接传感器本体，无可拆卸密封垫圈；前端为管路螺纹接口，后端为接线壳体；紧凑圆柱形结构，适配气体柜狭小安装空间；接线壳体内置微动开关组件。
工作原理 管路内部气体压力作用于一体化金属传感膜片，压力变化带动膜片产生位移。当压力达到出厂预设动作点，膜片推动内部微动开关，切换 SPDT 接点通断状态，向 PLC 或安全回路发送开关信号。压力回落至复位点，开关自动恢复原始状态。金属全焊接结构全程隔绝工艺介质，无弹性部件与介质接触。
安装要求 在半导体气体柜内部垂直或水平安装；管路安装前，管路系统完成吹扫清洁；螺纹接口安装使用适配高纯管路的无颗粒密封方式；接线线缆采用屏蔽线缆，远离高频电磁干扰源；安装过程避免磕碰传感本体，防止膜片变形。
使用注意事项 禁止对开关本体施加外力敲击、弯折；严禁超最大系统压力冲击；介质必须洁净，颗粒污染物会损伤金属膜片；拆装管路前必须泄压、吹扫管路；不可拆解焊接本体，拆解会破坏氦检密封性能。
