AMAT 0190-26873 — 应用材料公司（Applied Materials）Endura刻蚀系统用射频功率分配器

描述

AMAT 0190-26873 — 应用材料公司（Applied Materials）Endura刻蚀系统用射频功率分配器

技术规格：

功能特点：

• 2路1:1功率分配：将一路射频信号平均分配为两路，功率偏差<±0.5dB，确保两个刻蚀电极获得完全相等的射频功率
• 超低插入损耗：每路插入损耗<0.3dB，射频能量几乎无损失地传输到输出端
• 高端口隔离度：两路输出端口之间隔离度>25dB，一路输出的变化不会影响另一路
• 风冷散热：内置高流量涡轮风扇，支持2000W总功率持续运行，无需外接冷却水
• 远程监控：RS-232/Ethernet接口与AMAT Endura主机实时通讯，上报输入功率、输出功率、VSWR、温度等参数
• 高可靠性：采用军用级元器件，MTBF>50,000小时
• 模块化设计：可单独更换，无需更换整套射频系统

应用场景：

• AMAT Endura系列刻蚀机台（Endura 5500、Endura Vectra等）
• 双频率刻蚀工艺（两个电极分别由独立射频源供电，通过分配器实现功率均衡）
• 双电极独立控制刻蚀（如上电极和下电极需要不同功率但总和固定的场合）
• 半导体逻辑芯片制造（7nm/5nm/3nm先进制程）
• 存储芯片制造（3D NAND、DRAM刻蚀）
• 介质刻蚀（SiO2、SiN、Low-k、High-k等）

性能参数：

材质构成：

• 外壳：冷轧钢板，表面粉末喷涂（黑色，RAL 9005）
• 内部分配网络： Wilkinson分配器拓扑，采用高Q值空芯电感（铜管绕制）、精密薄膜电容（聚丙烯CBB电容）、50Ω微带线（PCB上）
• 连接器：N型射频连接器（50Ω，镀金）
• 散热：铝合金散热片 + 直流涡轮风扇（12V，滚珠轴承）
• PCB：4层FR-4高Tg板，射频区域特殊屏蔽处理
• 紧固件：不锈钢螺钉
• 线缆：射频同轴电缆（RG-213/U级别，50Ω，低损耗）

结构特征：

• 矩形金属箱体，尺寸约406×356×178mm
• 前面板：电源开关、状态LED（Ready/Fault/Match）、RS-232串口、Ethernet接口
• 顶部：1个射频输入N型母头（接RF Generator）、2个射频输出N型母头（接Chamber A/Chamber B）
• 底部：冷却风扇进风口+出风口、电源接线端子
• 背面：RS-232通讯线、Ethernet线、接地端子、控制信号线
• 内部：上层为Wilkinson分配网络，中层为控制PCB，下层为散热风扇

工作原理：

射频发生器输出的13.56MHz信号经N型输入端口进入分配器。Wilkinson分配器拓扑利用四分之一波长传输线和隔离电阻，将输入信号等分为两路，每路获得输入功率的一半（-3dB）。两路输出之间通过隔离电阻实现>25dB的隔离度，确保一路负载变化不影响另一路。输出信号经N型端口传输到刻蚀腔体的两个电极。

安装要求：

• 安装于刻蚀机台内部指定位置，使用M8螺钉固定于机架（4颗）
• 射频输入/输出电缆使用N型连接器，拧紧力矩1.5~2.0N·m
• 电缆弯曲半径>100mm，不可折弯
• 冷却风扇出风口不可被遮挡
• 接地线截面积≥4mm²，接地电阻<1Ω
• 安装后需用网络分析仪测量VSWR（输入<1.2:1，输出<1.3:1）和功率分配比（1:1，偏差<±0.5dB）

使用注意事项：

• 更换后必须进行射频调试，确认功率分配比1:1且VSWR达标方可投入生产
• 定期清洁散热风扇滤网（每3个月一次）
• 总输入功率不可超过2000W，每路输出不可超过1000W
• 严禁带电插拔射频电缆
• 存放时使用防静电袋包装，避免潮湿