描述
Honeywell MIDAS-E-HAL
技术规格
- 检测介质：卤化氢混合 / 单组分卤化氢气体
- 传感器原理：电化学三电极传感元件
- 标准量程：0~8ppm
- 分辨率：0.05ppm
- 工作温度：0℃至 + 40℃
- 工作湿度：10%~90% RH 无结露
- 预期使用寿命：标准工况 24 个月
- t62.5 响应时间：≤90s
功能特点 内置电子标定档案，主机识别卡盒后自动加载标定曲线。 对卤化氢气体具备选择性响应，降低常规气体交叉干扰。 卡盒自带寿命计时，临近寿命终点主机推送更换提醒。 插拔式快换结构，维护时无需拆除采样管路。 支持故障自诊断，传感膜破损、信号异常即时上报主机。
应用场景 半导体晶圆刻蚀、湿法清洗工艺区 电子特种气体柜泄漏监测 特种化工卤化氢工艺车间 洁净厂房有毒气体安全联锁 MIDAS 卤化氢检测系统备件更换
性能参数
- 测量精度：≤±10% 读数
- 重复性误差：≤±5% 读数
- 零点漂移：低温高温区间自动补偿
- 报警阈值默认：一级报警 1ppm，二级报警 2ppm
- 采样流量适配：MIDAS 主机标准 0.5L/min 采样流量
材质构成 阻燃 ABS 密封卡盒壳体 电化学卤化氢专用传感芯体 信号调理电路板 非易失性存储芯片 耐氟橡胶密封件 PTFE 防尘透气膜
结构特征 标准化 MIDAS 卡盒外形，导向防呆槽防止反向插装。 前后气路接口串联进主机采样回路。 侧面金属触点用于主机通信、读取卡内信息。 内部独立气室，隔绝外界气流扰动。
工作原理 工艺采样气流进入卡盒气室，卤化氢气体穿透 PTFE 透气膜抵达电化学电极，发生电化学反应生成对应电流信号。电路板采集信号，调用卡内预存标定曲线换算气体浓度，信号数据传输至 MIDAS 主机，浓度超过设定阈值后主机启动报警与联锁输出。
安装要求 主机断电后打开卡槽盖板，对准导向槽平稳插入卡盒，卡扣锁止到位。 检查气路接头无漏气，过滤芯状态完好。 上电预热完成，主机自动识别卡型号与标定参数。 使用标准卤化氢标气完成单点验证。
使用注意事项 本卡盒不可用于高浓度强酸雾气环境，水雾直接浸润传感膜会永久损坏传感器。 采样管路使用 PTFE 材质管路，禁止普通橡胶管路吸附卤化氢气体。 卡盒闲置存放时保持密封包装，避免空气长期消耗电极电解液。 严禁超量程暴露，高浓度卤化氢会快速消耗传感电极寿命。
