描述
ZYGO ZMI4104
技术规格 板卡规格：6U VME64x 标准板卡 测量通道：4 路完全独立测量通道 位置分辨率：0.154nm 最大测量速度：±2.55m/s 最小接收光功率：0.07µW 单通道数据更新速率：100kHz 最大测量距离：80 米（搭配扩束光学组件） 工作温度：0℃～45℃ 供电输入：24VDC ±10%，最大功耗 25W 对外接口：VME64x 总线接口，四路光信号输入接口
功能特点 四通道并行独立位移解算。较低接收光功率阈值，降低激光器功率配置要求。内置 Edlen 环境补偿算法，可以接入温度、气压、湿度传感器补偿空气折射率带来测量偏差。内置循环误差校正功能，消除干涉仪固有非线性测量误差。VME64x 总线高速输出位置、速度测量结果。硬件实时输出光功率不足、光信号丢失故障报警。支持多板卡 VME 机箱堆叠扩展测量轴。
应用场景 半导体光刻机工件台位移测量；高精度纳米运动台位置反馈；光学计量实验室精密位移检测；超精密检测设备；精密机床干涉测量系统；半导体封装设备位置计量系统。
性能参数 亚纳米级位置分辨率，四通道同步采集。高速运动工况测量数据不会丢步。光信号丢失立刻输出硬件故障信号。VME 总线低延迟传输全部测量数据。
材质构成 FR‑4 6U VME 多层工业印刷电路板，镀金 VME 金手指触点，光电接收芯片组，金属 VME 锁紧固定支架，板载环境信号采集器件。
结构特征 标准 6U VME64x 板卡尺寸，板卡内侧金手指对接 VME 机箱背板。板卡外侧面板布置四路光信号输入接口、状态指示灯。板卡四角配置金属锁紧紧固件，抵抗振动工况板卡松动。
工作原理 双频激光干涉仪返回两路具备相位差的光学信号，板卡光电探测器接收光信号，转换为电信号，硬件相位计解算相位差变化换算位移数值。外接温湿度气压传感器采集环境参数，依靠 Edlen 公式修正空气折射率引入测量偏差。位移测量结果经由 VME64x 总线上传给上位计算机。光功率监测电路实时判断光信号工作状态，异常输出告警。
安装要求 板卡安装在合规 6U VME64x 机箱插槽，四角金属锁紧螺丝完整紧固。干涉仪光路布线避免挤压、过度弯折光纤。VME 机箱保证充足散热通风。24VDC 供电电源纹波控制在规格允许范围。整机机柜严格接地，降低电磁噪声干扰测量精度。
使用注意事项 光学接收接口保持洁净，灰尘污染会直接劣化测量精度。设备运行温度严格控制 0‑45℃区间。VME 板卡插拔操作必须整机断电。激光光路做好防护，禁止人眼直视激光光束。振动环境定期检查板卡锁紧螺丝紧固状态。
