AMAT 0190-49518 — 应用材料公司（Applied Materials）Endura刻蚀系统用射频传感器
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AMAT 0190-49518 — 应用材料公司（Applied Materials）Endura刻蚀系统用射频传感器

产品简介：

AMAT 0190-49518 是美国应用材料公司（Applied Materials）生产的Endura系列刻蚀设备专用射频（RF）传感器。该传感器用于实时检测射频系统中的前向功率（Forward Power）和反射功率（Reflected Power），是射频匹配系统的核心检测元件。工作频率为13.56MHz，量程高达5000W（前向）和500W（反射），检测精度±2%满量程。传感器输出的模拟信号（0~10V或4~20mA）送入AMAT主机控制系统，用于自动匹配调谐和功率控制。该传感器为AMAT原厂备件。

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描述

AMAT 0190-49518 — 应用材料公司（Applied Materials）Endura刻蚀系统用射频传感器

技术规格：

参数项 详细规格
品牌 Applied Materials（AMAT）
系列 Endura刻蚀系统
型号 0190-49518
部件名称 RF Sensor（射频传感器/定向耦合器）
工作频率 13.56MHz（ISM频段）
前向功率量程 0~5000W
反射功率量程 0~500W
检测精度 ±2%满量程（前向），±5%满量程（反射）
输出信号 0~10V DC（前向）+ 0~10V DC（反射），或4~20mA可选
插入损耗 <0.15dB（前向通道）
耦合度 -40dB（前向），-30dB（反射）
方向性 >25dB（前向/反射隔离度）
阻抗 50Ω（所有端口）
冷却方式 被动散热（无风扇）
供电电压 24V DC（传感器内部电路供电）
控制接口 模拟量输出（0~10V / 4~20mA），接入AMAT主机ADC
尺寸 约127 × 89 × 44mm（长×宽×高）
重量 约0.8kg
防护等级 IP20（机柜内安装）
工作温度 0°C ~ +50°C（环境）
认证 CE、UL
产地 美国

功能特点：

  • 双通道检测：同时检测前向功率（0~5000W）和反射功率（0~500W），为自动匹配提供实时数据
  • 高量程5000W：前向功率量程高达5000W，覆盖Endura机台最大功率需求
  • 高精度±2%：前向功率检测精度±2%满量程（±100W@5000W），满足功率控制需求
  • 低插入损耗<0.15dB：对主射频通路的影响极小
  • 高方向性>25dB：前向和反射通道之间隔离度高，互不干扰
  • 模拟量输出：0~10V或4~20mA输出，直接接入AMAT主机ADC，无需额外信号调理
  • 被动散热：无风扇设计，可靠性高，无噪音

应用场景：

  • AMAT Endura系列刻蚀机台射频系统（安装在射频发生器输出端或匹配器输入端）
  • 自动匹配调谐系统的功率检测反馈
  • 射频功率闭环控制
  • 反射功率保护（当反射功率超过设定阈值时触发保护动作）
  • 半导体刻蚀工艺的功率监控和数据记录

性能参数：

参数 数值
工作频率 13.56MHz
前向量程 0~5000W
反射量程 0~500W
前向精度 ±2% FS
反射精度 ±5% FS
插入损耗 <0.15dB
方向性 >25dB
输出 0~10V / 4~20mA
MTBF >80,000小时

材质构成：

  • 外壳：铝合金（6061-T6），阳极氧化处理，银色
  • 定向耦合器：微带线耦合器（PCB上的铜箔传输线），FR-4基板
  • 检波二极管：肖特基二极管（HSMS-285x级别），高灵敏度、快响应
  • 运算放大器：精密低漂移运放（OP07级别），用于信号调理
  • 连接器：N型射频连接器（50Ω，镀金），2个（输入/输出）
  • PCB：4层FR-4高Tg板，射频区域屏蔽处理
  • 电阻/电容：高精度金属膜电阻（0.1%）、NPO电容（温度系数±30ppm/°C）
  • 紧固件：不锈钢螺钉

结构特征：

  • 矩形铝合金箱体，尺寸约127×89×44mm，是五款产品中体积最小的
  • 顶部：1个N型射频输入（接RF Generator）、1个N型射频输出（接Match Box/Chamber）
  • 底部：24V DC电源端子、模拟量输出端子（前向0~10V、反射0~10V，共4个端子）
  • 前面板：状态LED（Power OK）、校准标记
  • 重量约0.8kg，可直接安装在DIN导轨上或用螺钉固定

工作原理：

射频信号从N型输入端口进入传感器，大部分功率（>-40dB耦合）通过主通路输出到N型输出端口（前向功率），小部分功率（约-40dB）被定向耦合器采样送入前向检波通道。同时，反射功率从N型输出端口反向传入，被定向耦合器的反射端口采样（约-30dB耦合）送入反射检波通道。两个检波通道的肖特基二极管将射频信号转换为直流电压，经运算放大器调理后输出0~10V模拟信号。前向和反射通道之间通过定向耦合器的方向性实现>25dB隔离。

安装要求：

  • 安装于射频发生器输出端与匹配器输入端之间（串联在射频通路中）
  • 使用M4螺钉固定或DIN导轨安装
  • N型输入接RF Generator输出，N型输出接Match Box输入，不可接反
  • 24V DC电源接入底部电源端子，注意极性
  • 模拟量输出线（0~10V）使用屏蔽双绞线，接入AMAT主机对应ADC通道
  • 屏蔽层单端接地（在AMAT主机侧接地）
  • 接地线连接至机柜接地排

使用注意事项：

  • 传感器串联在射频通路中，安装时不可断开射频通路（需在停机状态下操作）
  • N型连接器拧紧力矩1.5~2.0N·m，不可过度拧紧
  • 模拟量输出不可短路，否则会损坏内部运放
  • 精度±2%为出厂校准值，建议每1年重新校准一次
  • 定期检查N型连接器有无松动、腐蚀
  • 存放时N型端口需套上防尘帽，避免灰尘进入影响精度
  • 传感器不可用于频率偏离13.56MHz超过±1%的场合，否则精度下降

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